Advanced Energy Industries, Inc.（納斯達克股票代碼：AEIS）是一家全球領(lǐng)先的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)供應(yīng)商，總部位于美國科羅拉多州。公司成立于1981年，專注于為半導(dǎo)體、工業(yè)、醫(yī)療和數(shù)據(jù)中心等高科技領(lǐng)域提供創(chuàng)新的電源解決方案。在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，AE的射頻（RF）電源以高穩(wěn)定性、精確控制和長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。

AE 刻蝕機射頻電源（RF Power Supplies for Etch）

AE的射頻電源為半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備提供高頻率、高功率的穩(wěn)定能量輸出，確?？涛g工藝的均勻性和重復(fù)性。其產(chǎn)品特點包括：

頻率范圍：覆蓋主流射頻頻段（如2 MHz、13.56 MHz、27 MHz、60 MHz等）。

高功率密度：模塊化設(shè)計，支持多級并聯(lián)以滿足高功率需求。

先進控制算法：實時阻抗匹配和快速響應(yīng)，適應(yīng)復(fù)雜工藝變化。

可靠性：專為24/7嚴苛的半導(dǎo)體 fab 環(huán)境設(shè)計。

若您有任何需求和疑問，歡迎聯(lián)系我們咨詢選購。

以下是AE主要射頻電源系列及典型型號（適用于刻蝕機應(yīng)用）：

1.eVerest?  RF電源系統(tǒng)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造（如蝕刻、PVD、PECVD、ALE、ALD等）

核心功能與優(yōu)勢：

高精度等離子體控制：

可配置多級脈沖（八級脈沖），支持瞬時或用戶定義的過渡時序。

高速、高精度頻率調(diào)諧（±10%范圍），提升工藝穩(wěn)定性。

快速設(shè)定點響應(yīng)（<200 μs）和脈沖上升/下降時間（<2 μs）。

創(chuàng)新技術(shù)：

PowerInsight? IoT平臺：嵌入式數(shù)據(jù)生態(tài)系統(tǒng)，支持實時數(shù)據(jù)收集、分析和可視化，優(yōu)化故障排查與決策。

SyncTech?同步技術(shù)：智能匹配網(wǎng)絡(luò)和同步控制，確保系統(tǒng)兼容性。

關(guān)鍵規(guī)格：

輸出功率：3.5 kW 至 10 kW

頻率范圍：1 MHz 至 60 MHz

通信接口：EtherCAT?、RS-232、以太網(wǎng)

行業(yè)應(yīng)用：

支持<2 nm沉積和蝕刻工藝，擴展工藝窗口，提升良率。

產(chǎn)品型號

eVerest? 旗艦RF電源系統(tǒng)，支持多級脈沖和高速頻率調(diào)諧。

APEX?  數(shù)字/模擬RF等離子體發(fā)生器。

Navigator? II全數(shù)字RF匹配網(wǎng)絡(luò)，基于模型調(diào)諧。

Paramount?/Paramount?+ 高密度/數(shù)字控制RF電源解決方案。

eVos? 可調(diào)離子能量RF電源。

NavX? 匹配網(wǎng)絡(luò)，支持MLP（多級脈沖）調(diào)諧和脈沖內(nèi)狀態(tài)調(diào)諧。

1. 

2. 工業(yè)電源（Industrial Power Supplies）

UltraVolt? 系列（高壓電源）

8A24（24 kV, 8 W）

10C24（24 kV, 10 W）

20A12-P4（12 kV, 20 W）

Excelsys? 系列（可配置電源）

X6 600W（醫(yī)療 & 工業(yè)應(yīng)用）

XSL 400W（緊湊型電源）

3. 半導(dǎo)體制造設(shè)備電源

Pinnacle? 系列（等離子體電源）

5kWh（高功率 RF 電源）

Pinnacle Plus+（增強版）

Ascent? 系列（直流電源）

APM 系列（可編程模塊化電源）

4. 醫(yī)療與數(shù)據(jù)中心電源

Artesyn? 系列（現(xiàn)屬 Advanced Energy）

CSU1000A（1U 服務(wù)器電源）

LCC1200（醫(yī)療級電源）

5. 傳感器與測量設(shè)備

SureTest?（電壓與電流探頭）

STX-1（高壓探頭）

ST-5（通用型探頭）

細分型號：

1. Navigator? 系列

型號:

Navigator NX100（1000W, 13.56MHz）

Navigator NX200（2000W, 13.56MHz/2MHz）

Navigator NX60（600W, 60MHz）

特點: 模塊化設(shè)計，支持多頻率，適用于高精度刻蝕。

2. Ultra Q系列

型號：:

Ultra Q RG3（3000W, 13.56MHz）

Ultra Q RG5（5000W, 13.56MHz）

特點: 高功率輸出，適用于大規(guī)模晶圓刻蝕。

3. Pinnacle? 系列

型號:

Pinnacle 5+（5000W, 13.56MHz）

Pinnacle 10+（10kW, 13.56MHz）

特點: 面向極高功率應(yīng)用，支持脈沖射頻模式。

4. Cesar? 系列

型號:

Cesar 1312（1200W, 13.56MHz）

Cesar 1340（4000W, 13.56MHz）

特點: 緊湊型設(shè)計，適用于空間受限的設(shè)備。

5. RFX 系列

型號:

RFX 2K（2000W, 2MHz/13.56MHz）

RFX 6K（6000W, 13.56MHz）

特點: 高性價比，適用于中低功率刻蝕。

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