KLA Corporation公司及WaferSight 5（晶圓振動(dòng)監(jiān)測(cè)傳感器）產(chǎn)品介紹&pic=http://www.e3i5w.cn/upload/images/site/20240521/17162563772507049.png)
KLA Corporation 是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備供應(yīng)商，成立于1976年，總部位于美國(guó)加利福尼亞州米爾皮塔斯（Milpitas）。公司專注于芯片制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)、計(jì)量和過(guò)程控制，客戶包括臺(tái)積電（TSMC）、三星（Samsung）、英特爾（Intel）等頂級(jí)半導(dǎo)體廠商。
核心技術(shù)：晶圓檢測(cè)、光刻量測(cè)、缺陷分析、大數(shù)據(jù)過(guò)程控制。
行業(yè)地位：全球半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)占有率超過(guò)50%，是行業(yè)絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者。
產(chǎn)品應(yīng)用：覆蓋邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等制造環(huán)節(jié)。
WaferSight 5 是KLA推出的高精度晶圓振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體制造設(shè)備（如光刻機(jī)、CMP）的振動(dòng)分析與控制，可提升晶圓加工精度和良率。
| 型號(hào) | 測(cè)量維度 | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|
| WS5-100 | 單軸（Z方向） | 垂直振動(dòng)監(jiān)測(cè)（如CMP拋光機(jī)） |
| WS5-200 | 雙軸（X/Y方向） | 水平振動(dòng)監(jiān)測(cè)（如光刻機(jī)平臺(tái)） |
| WS5-300 | 三軸（X/Y/Z） | 全向振動(dòng)分析（高精度設(shè)備校準(zhǔn)） |
| 型號(hào) | 帶寬 | 分辨率 | 特點(diǎn) |
|---|---|---|---|
| WS5-500HF | 0-10 kHz | 0.1 nm | 高頻振動(dòng)監(jiān)測(cè)（適用于EUV光刻機(jī)） |
| WS5-600UPM | 0-20 kHz | 0.05 nm | 超精密模式（3D IC封裝監(jiān)測(cè)） |
| 型號(hào) | 工作溫度 | 防護(hù)等級(jí) | 適用環(huán)境 |
|---|---|---|---|
| WS5-400CLEAN | 15-28°C | ISO Class 1 | 潔凈室專用（防微粒污染） |
| WS5-450VAC | 10-40°C | IP54 | 真空兼容（蝕刻/沉積設(shè)備） |
| 型號(hào) | 功能 |
|---|---|
| WS5-SW | 分析軟件（實(shí)時(shí)FFT/趨勢(shì)分析） |
| WS5-CAL | 校準(zhǔn)套件（NIST可溯源） |
| WS5-MNT | 磁吸/真空安裝支架 |
其他注意事項(xiàng)：
更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過(guò)提供項(xiàng)目詳情獲取，歡迎咨詢。
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