品介紹&pic=http://www.e3i5w.cn/upload/images/site/20240521/17162563772507049.png)
Kosaka Laboratory Ltd.（小坂研究所株式會社）成立于 1936年，總部位于日本東京，是表面粗糙度測量與形貌分析儀器領(lǐng)域的全球領(lǐng)先企業(yè)。公司專注于高精度接觸式/非接觸式表面測量技術(shù)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車、精密加工、半導(dǎo)體、光學元件和科研等領(lǐng)域。
核心技術(shù)：
接觸式表面粗糙度儀（Surftest系列）
非接觸式光學輪廓儀（Surfcom系列）
3D形貌測量系統(tǒng)（基于白光干涉、激光共聚焦技術(shù)）
行業(yè)地位：日本市場份額第一，全球高端表面測量設(shè)備核心供應(yīng)商之一。
Surfcom系列 是Kosaka的非接觸式光學表面粗糙度/輪廓測量系統(tǒng)，采用白光干涉（WLI）、激光共聚焦（CLI）等技術(shù)，適用于超精密加工、半導(dǎo)體、光學鍍膜、MEMS等領(lǐng)域的表面形貌分析。
| 型號 | 垂直分辨率 | 橫向分辨率 | 測量范圍（Z軸） | 特點 |
|---|---|---|---|---|
| Surfcom 1800A | 0.1 nm | 0.5 μm | 0.1 mm ~ 10 mm | 通用型，高性價比 |
| Surfcom 1900DX | 0.05 nm | 0.3 μm | 0.05 mm ~ 15 mm | 高精度，動態(tài)范圍大 |
| Surfcom 2000NX | 0.01 nm | 0.1 μm | 0.01 mm ~ 20 mm | 納米級分辨率，科研級 |
| 型號 | 垂直分辨率 | 橫向分辨率 | 最大傾斜角 | 特點 |
|---|---|---|---|---|
| Surfcom 3000CL | 1 nm | 0.2 μm | ±85° | 高反射表面測量（如金屬、鏡面） |
| Surfcom 3500CLI | 0.5 nm | 0.1 μm | ±87° | 超高速掃描（適用于產(chǎn)線檢測） |
| 型號 | 視場（FOV） | 最大階躍高度 | 適用場景 |
|---|---|---|---|
| Surfcom 5000WX | 10 mm × 10 mm | 5 mm | 晶圓、平板顯示器 |
| Surfcom 6000TS | 5 mm × 5 mm | 10 mm | 渦輪葉片、三維微結(jié)構(gòu) |
| 型號 | 測量速度 | 自動化接口 | 特點 |
|---|---|---|---|
| Surfcom 4000A-AC | 10 sec/scan | Robot Arm (Kuka/FANUC) | 集成式工業(yè)自動化 |
| Surfcom 4500AI | 5 sec/scan | AI缺陷分類 | 智能質(zhì)檢 |
| 型號 | 功能 |
|---|---|
| LENS-50X | 50倍長工作距物鏡（WD=8 mm） |
| STG-200 | 防振臺（隔振頻率≤1 Hz） |
| CAL-N15 | NIST可溯源標準校準件（Ra 15 nm） |
| 軟件名稱 | 功能 |
|---|---|
| Surfcom Vision | 3D形貌可視化、粗糙度參數(shù)（Ra/Rz/Sa/Sq）計算 |
| Surfcom Analyzer Pro | 高級紋理分析、功率譜密度（PSD） |
選型建議：
白光干涉儀（WLI）適合光滑表面（Ra < 1 μm）
激光共聚焦（CLI）適合高反射/粗糙表面（Ra > 1 μm）
其他注意事項：
更詳細的技術(shù)資料需通過提供項目詳情獲取，歡迎咨詢。
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